System for controlling mass balance of gases and reagents during formation of ion-plasma coatings
Gespeichert in:
| Datum: | 2020 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2020
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| Schriftenreihe: | Scientific Notes of Junior Academy of Sciences of Ukraine |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001223708 |
| Tags: |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Institution
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS| Keine Beschreibung verfügbar. |