Measurement of thicknesses of optically transparent layered structures by the spectral interferometry method

Measurement of thicknesses of optically transparent layered structures by the spectral interferometry method

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2017
Hauptverfasser:	K. A. Lukin, D. N. Tatjanko, A. B. Pikh, O. V. Zemljanyj
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Radiophysics and Electronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000685034
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