The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60

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Bibliographische Detailangaben
Datum:2015
Hauptverfasser: M. V. Maleev, E. N. Zubarev, V. E. Pukha, A. N. Drozdov, A. S. Vus, Ju. Devizenko
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2015
Schriftenreihe:Physical surface engineering
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001045140
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