Microwave high-resolution scanning heating in the technology of micro- and nanoelectronics

Microwave high-resolution scanning heating in the technology of micro- and nanoelectronics

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	Ju. E. Gordienko, M. I. Pjatajkina, A. V. Polishchuk
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059748
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