Microwave high-resolution scanning heating in the technology of micro- and nanoelectronics

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2015
Hauptverfasser: Ju. E. Gordienko, M. I. Pjatajkina, A. V. Polishchuk
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2015
Schriftenreihe:Physical surface engineering
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059748
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