Golishnikov, A. A., & Putrja, M. G. (2014). Development of deep silicon plasma etching for 3D integration technology.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Golishnikov, A. A., und M. G. Putrja. Development of Deep Silicon Plasma Etching for 3D Integration Technology. 2014.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Golishnikov, A. A., und M. G. Putrja. Development of Deep Silicon Plasma Etching for 3D Integration Technology. 2014.
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