Havryliuk, O. O., & Semchuk, Y. (2013). Temperature and laser annealing of nonstoichiometric SiOx films.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Havryliuk, O. O., und Yu Semchuk. Temperature and Laser Annealing of Nonstoichiometric SiOx Films. 2013.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Havryliuk, O. O., und Yu Semchuk. Temperature and Laser Annealing of Nonstoichiometric SiOx Films. 2013.
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