Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2

Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
Hauptverfasser:	I. N. Torianik, V. M. Beresnev, A. D. Pogrebnjak, O. V. Sobol, Ye. V. Beresneva, I. A. Podcherniaieva, Yu. Kropotov, N. G. Stiervoiedov, P. V. Turbin, D. A. Kolesnikov
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2013
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000928882
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