Effect of nitrogen partial pressure on reactive magnetron sputtering from Ti13Cu87 metalloid target: simulation of chemical composition

Effect of nitrogen partial pressure on reactive magnetron sputtering from Ti13Cu87 metalloid target: simulation of chemical composition

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	A. Rahmati, M. Khanzadeh
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2012
Schriftenreihe:	Ukrainian Journal of Physics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000724619
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