Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок
The thickness dependence of the surface roughness and the grain size of nanosilicon films, produced by low-pressure chemical vapour deposition, has been found, by using atomic force microscopy. A correlation between the surface roughness, grain size, and transformation of a film structure from the e...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English Ukrainian |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2019
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019277 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2019277 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20192772019-04-11T08:02:37Z Mechanisms of Surface Evolution During the Growth of Undoped Nanosilicon Films Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок Nakhodkin, N. G. Rodionova, T. V. Sutyagina, A. S. нанокремнiєвi плiвки поверхневi неоднорiдностi рiст зерен механiзм росту зерен атомна силова мiкроскопiя nanosilicon films surface roughness grain growth mechanism of grain growth atomic force microscopy - The thickness dependence of the surface roughness and the grain size of nanosilicon films, produced by low-pressure chemical vapour deposition, has been found, by using atomic force microscopy. A correlation between the surface roughness, grain size, and transformation of a film structure from the equiaxial structure into a fibrous one is established. Possible mechanisms of surface evolution are analyzed. Методом атомної силової мiкроскопiї дослiджено вплив товщини нелегованих нанокремнiєвих плiвок, що отриманi методом хiмiчного осадження в реакторi зниженого тиску, на характеристики їх поверхневого мiкрорельєфу. Встановлена кореляцiя мiж зростанням розмiрiв неоднорiдностей мiкрорельєфу поверхнi плiвок та змiною типу структури плiвок вiд рiвноосьової до волокнистої. Проаналiзовано iмовiрнi механiзми еволюцiї поверхнi нанокремнiєвих плiвок. Publishing house "Academperiodika" 2019-01-22 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019277 10.15407/ujpe60.02.0165 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 60 No. 2 (2015); 165 Український фізичний журнал; Том 60 № 2 (2015); 165 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe60.02 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019277/1282 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019277/1283 Copyright (c) 2019 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English Ukrainian |
| topic |
нанокремнiєвi плiвки поверхневi неоднорiдностi рiст зерен механiзм росту зерен атомна силова мiкроскопiя nanosilicon films surface roughness grain growth mechanism of grain growth atomic force microscopy - |
| spellingShingle |
нанокремнiєвi плiвки поверхневi неоднорiдностi рiст зерен механiзм росту зерен атомна силова мiкроскопiя nanosilicon films surface roughness grain growth mechanism of grain growth atomic force microscopy - Nakhodkin, N. G. Rodionova, T. V. Sutyagina, A. S. Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок |
| topic_facet |
нанокремнiєвi плiвки поверхневi неоднорiдностi рiст зерен механiзм росту зерен атомна силова мiкроскопiя nanosilicon films surface roughness grain growth mechanism of grain growth atomic force microscopy - |
| format |
Article |
| author |
Nakhodkin, N. G. Rodionova, T. V. Sutyagina, A. S. |
| author_facet |
Nakhodkin, N. G. Rodionova, T. V. Sutyagina, A. S. |
| author_sort |
Nakhodkin, N. G. |
| title |
Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок |
| title_short |
Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок |
| title_full |
Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок |
| title_fullStr |
Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок |
| title_full_unstemmed |
Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок |
| title_sort |
механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок |
| title_alt |
Mechanisms of Surface Evolution During the Growth of Undoped Nanosilicon Films |
| description |
The thickness dependence of the surface roughness and the grain size of nanosilicon films, produced by low-pressure chemical vapour deposition, has been found, by using atomic force microscopy. A correlation between the surface roughness, grain size, and transformation of a film structure from the equiaxial structure into a fibrous one is established. Possible mechanisms of surface evolution are analyzed. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2019 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019277 |
| work_keys_str_mv |
AT nakhodkinng mechanismsofsurfaceevolutionduringthegrowthofundopednanosiliconfilms AT rodionovatv mechanismsofsurfaceevolutionduringthegrowthofundopednanosiliconfilms AT sutyaginaas mechanismsofsurfaceevolutionduringthegrowthofundopednanosiliconfilms AT nakhodkinng mehanizmievolûciípoverhniprirostinelegovanihnanokremniêvihplivok AT rodionovatv mehanizmievolûciípoverhniprirostinelegovanihnanokremniêvihplivok AT sutyaginaas mehanizmievolûciípoverhniprirostinelegovanihnanokremniêvihplivok |
| first_indexed |
2023-03-24T08:57:47Z |
| last_indexed |
2023-03-24T08:57:47Z |
| _version_ |
1795757678551629824 |