Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду
The technique for a metal film deposition on spherical microparticles in an RF plasma trap is presented. Both the particle confinement and the electrode sputtering are performed by a single RF magnetron discharge. The samples of a coated spheres are obtained and examined. The technique allows confin...
Gespeichert in:
| Datum: | 2022 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Publishing house "Academperiodika"
2022
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021437 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Institution
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2021437 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20214372022-02-02T20:11:28Z Deposition of Metal Films on Microparticles Trapped in RF Magnetron Discharge Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду Pal, A.F. Rudavets, A.G. Ryabinkin, A.N. Serov, A.O. - - The technique for a metal film deposition on spherical microparticles in an RF plasma trap is presented. Both the particle confinement and the electrode sputtering are performed by a single RF magnetron discharge. The samples of a coated spheres are obtained and examined. The technique allows confining the particles near to the sputtered region close to the border zone of ballistic bombardment by sputtered atoms. Подано спосіб осадження плівок на сферичні мікрочастинки в плазмово-пиловій пастці. Магнетронний ВЧ розряд використовували як для утримання частинок, так і для розпилення електродів. Отримано і досліджено зразки сферичних частинок з металічним покриттям. Ця техніка дозволяє утримувати частинки поблизу межі області балістичного бомбардування розпорошеними атомами. Publishing house "Academperiodika" 2022-02-02 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021437 10.15407/ujpe56.12.1315 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 56 No. 12 (2011); 1315 Український фізичний журнал; Том 56 № 12 (2011); 1315 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe56.12 en https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021437/2166 |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English |
| topic |
- - |
| spellingShingle |
- - Pal, A.F. Rudavets, A.G. Ryabinkin, A.N. Serov, A.O. Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду |
| topic_facet |
- - |
| format |
Article |
| author |
Pal, A.F. Rudavets, A.G. Ryabinkin, A.N. Serov, A.O. |
| author_facet |
Pal, A.F. Rudavets, A.G. Ryabinkin, A.N. Serov, A.O. |
| author_sort |
Pal, A.F. |
| title |
Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду |
| title_short |
Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду |
| title_full |
Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду |
| title_fullStr |
Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду |
| title_full_unstemmed |
Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду |
| title_sort |
осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці вч магнетронного розряду |
| title_alt |
Deposition of Metal Films on Microparticles Trapped in RF Magnetron Discharge |
| description |
The technique for a metal film deposition on spherical microparticles in an RF plasma trap is presented. Both the particle confinement and the electrode sputtering are performed by a single RF magnetron discharge. The samples of a coated spheres are obtained and examined. The technique allows confining the particles near to the sputtered region close to the border zone of ballistic bombardment by sputtered atoms. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2022 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021437 |
| work_keys_str_mv |
AT palaf depositionofmetalfilmsonmicroparticlestrappedinrfmagnetrondischarge AT rudavetsag depositionofmetalfilmsonmicroparticlestrappedinrfmagnetrondischarge AT ryabinkinan depositionofmetalfilmsonmicroparticlestrappedinrfmagnetrondischarge AT serovao depositionofmetalfilmsonmicroparticlestrappedinrfmagnetrondischarge AT palaf osadžennâmetalíčnihplívoknamíkročastinkiupastcívčmagnetronnogorozrâdu AT rudavetsag osadžennâmetalíčnihplívoknamíkročastinkiupastcívčmagnetronnogorozrâdu AT ryabinkinan osadžennâmetalíčnihplívoknamíkročastinkiupastcívčmagnetronnogorozrâdu AT serovao osadžennâmetalíčnihplívoknamíkročastinkiupastcívčmagnetronnogorozrâdu |
| first_indexed |
2023-03-24T09:00:06Z |
| last_indexed |
2023-03-24T09:00:06Z |
| _version_ |
1795757743019130880 |