absorption resonance 1 dielectric metalayer 1 periodic structure 1 quartz 1 silicon 1 transmission resonance 1 диэлектрический метаслой діелектричний меташар 1 кварц 1 кремний 1 кремній 1 периодическая структура 1 періодична структура 1 резонанс поглинання 1 резонанс поглощения 1 резонанс проходження 1 резонанс прохождения 1