silicon 2 кремний absorption resonance 1 dielectric metalayer 1 disordered regions 1 effective Hall mobility 1 periodic structure 1 proton irradiation 1 quartz 1 transmission resonance 1 диэлектрический метаслой 1 діелектричний меташар 1 кварц 1 кремній 1 периодическая структура 1 періодична структура 1 протонное облучение 1 разупорядоченные области 1 резонанс поглинання 1 резонанс поглощения 1 резонанс проходження 1 резонанс прохождения 1 эффективная холловская подвижность 1