gallium nitride 2 нiтрид галiю 2DEG 1 broadening parameter 1 electronic transport 1 electroreflectance 1 epitaxial film 1 heterostructure 1 internal strain 1 microwave treatment 1 ultrasound 1 внутрiшня деформацiя 1 гетероструктура 1 двовимiрний електронний газ (2DEG) 1 електровiдбивання 1 електронний транспорт 1 епiтаксiйна плiвка 1 мiкрохвильова обробка 1 параметр уширення 1 ультразвук 1