електронний пучок 2 транспортування електронного пучка Steffensen method 1 class of algebraic functions 1 electron beam 1 electron beam guiding 1 electron beam technologies 1 electron beam transportation 1 focal parameters of the electron beam 1 focal region 1 high-voltage glow discharge electron gun 1 interpolation 1 nonlinear electron beam transportation channel 1 set of nonlinear equations 1 vacuum conductivity of the transportation channel 1 vacuum technology equation 1 вакуумна провідність каналу транспортування 1 електронна гармата високовольтного тліючого розряду 1 електронно-променеві технології 1 интерполяция 1 клас алгебричних функцій 1 класс алгебраических функций 1 метод Стеффенсена 1 нелінійний канал транспортування електронного пучка 1 прифокальная область 1 рівняння вакуумної техніки 1 система нелінійних рівнянь 1 транспортирование электронного пучка 1 фокальна область 1 электронный пучок 1