excitation efficiency 3 эффективность возбуждения open resonator 2 ефективність збудження 2 открытый резонатор 2 1 circular waveguide 1 connector SU-8 1 diffraction grating 1 near-field plasmonic device 1 near-field probe based on optical plasmon microstrip line 1 overmoded rectangular waveguide 1 power combiner 1 ближнеполевой зонд на основе оптической плазмонной микрополосковой линии 1 ближнеполевые плазмонные устройства 1 ближньопольовий зонд на основі оптичної плазмонної мікросмужкової лінії 1 ближньопольові плазмонні пристрої 1 відкритий резонатор 1 дифракционная решетка 1 дифракційна решітка 1 коннектор SU-8 1 круглый волновод 1 надрозмірний прямокутний хвилевід 1 сверхразмерный прямоугольный волновод 1 сложение мощностей 1