electron beam technologies електронний пучок 2 електронно-променеві технології 2 Steffensen method 1 average error 1 boundary trajectory 1 electron beam 1 electron beam transportation 1 extrapolation 1 focal parameters of the electron beam 1 high voltage glow discharge 1 high-voltage glow discharge electron gun 1 higher-order interpolation 1 interpolation 1 lower-order interpolation 1 nonlinear electron beam transportation channel 1 ravine function 1 root-polynomial function 1 set of nonlinear equations 1 vacuum conductivity of the transportation channel 1 vacuum technology equation 1 вакуумна провідність каналу транспортування 1 високовольтний тліючий розряд 1 гранична траєкторія 1 екстраполяція 1 електронна гармата високовольтного тліючого розряду 1 коренево-поліноміальна функція 1 метод Стеффенсена 1 нелінійний канал транспортування електронного пучка 1 рівняння вакуумної техніки 1