Rutherford backscattering 1 alpha particles 1 interface layer 1 iндуковане частинками характеристичне рентгенiвське випромiнювання 1 nuclear microanalysis particle induced X-ray emission 1 surface layers 1 альфа-частинки 1 поверхневi наношари 1 промiжний шар 1 резерфордiвське зворотне розсiяння 1 ядерний мiкроаналiз 1 “Nuclear scanning probe” 1 “cкануючий ядерний зонд” 1