Роль олова у формуванні мікро- і наноструктури поверхні шаруватих плівок Si–Sn–Si

by Neimash, V.B., Shepelyavyi, P.E., Nikolenko, A.S., Strelchuk, V.V., Chegel, V.I., Olkhovyk, I.V., Voronov, S.O.
Published 2023