energy diagram 1 heterostructure 1 photodiode 1 semiconductors and dielectrics 1 spray pyrolysis 1 thin film 1 гетероструктура 1 енергетична дiаграма 1 напівпровідники і діелектрики 1 спрей-пiролiз 1 тонка плiвка 1 фотодiод