photoconductivity фотопровiднiсть 3 Mn2 1 bilateral macroporous silicon 1 effective conductivity 1 excess charge carriers 1 macroporous silicon structures 1 photoluminescence 1 plasma chemical deposition 1 porous 1 thin hydrogenated films 1 zinc oxide 1 УДК 621.315. 537.37 1 гидрогенизированные тонкие пленки 1 двостороннiй макропористий кремнiй 1 ефективна провiднiсть 1 макропористий кремнiй 1 нерiвноважнi носiї заряду 1 оксид цинку 1 плазмохимическое осаждение 1 пористий 1 фотолюмiнесценцiя 1 фотопроводимость 1