near-surface layer 2 приповерхневий шар 2 - 1 Rutherford backscattering 1 alpha particles 1 emitter 1 heat treatments 1 interface layer 1 iндуковане частинками характеристичне рентгенiвське випромiнювання 1 laser irradiation 1 n-GaAs(100) 1 nuclear microanalysis 1 particle induced X-ray emission 1 photosensitive silicon structure 1 recombination losses 1 reflection spectra 1 refractive index 1 silicon dioxide layer 1 soil heat exchanger 1 surface layers 1 surface layers of the Earth 1 thermal diffusivity of the soil 1 thermal energy 1 альфа-частинки 1 емiтер 1 лазерне опромiнення 1 поверхневi наношари 1 показник заломлення 1 промiжний шар 1 резерфордiвське зворотне розсiяння 1