automation of chemical etching processes 1 chalcogenide amorphous films 1 chemical etching 1 chromium film 1 inorganic photoresists 1 interference methods of thickness control 1 laser recording 1 mathematical modeling 1 microrelief structure 1 nonlinear exposure characteristics 1 photoresist layer 1 photoresists 1 sapphire substrates 1 thermolithography 1 автоматизація процесів хімічного травлення 1 лазерний запис 1 математичне моделювання 1 мікрорельєфна структура 1 нелинейная экспозиционная характеристика 1 нелінійна експозиційна характеристика 1 неорганические фоторезисты 1 неорганічні фоторезисти 1 плівка хрому 1 сапфірові підкладки 1 термолитография 1 термолітографія 1 фоторезисти 1 халькогенідні аморфні плівки 1 хімічне травлення 1 шар фоторезисту 1