Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде

von Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Касань, В.
Veröffentlicht 2004

Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках...

von Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Ренар, Г., Касань, В.
Veröffentlicht 2005