Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем...

von Гладковский, В.В., Федорович, О.А.
Veröffentlicht 2017

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...

von Гладковский, В.В., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Петряков, В.А.
Veröffentlicht 2014