Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму

by Зиков, О.В., Яковін, С.Д., Дудін, С.В.
Published 2009

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів

by Яковін, С.Д., Зиков, О.В., Дудін, С.В., Фаренік, В.І., Юнаков, М.М.
Published 2014

Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій...

by Азарєнков, М.О., Дудін, С.В., Зиков, О.В., Фаренік, В.І., Яковін, С.Д.
Published 2017