Травление поверхности металлов в плазме аргона

by Капустин, В.Л., Широков, Б.М.
Published 2001

Травление поверхности металлов в плазме аргона

by Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
Published 2007

Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия...

by Журавлев, А.Ю., Глушко, П.И., Капустин, В.Л., Семенов, Н.А., Хованский, Н.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М.
Published 2006

Газофторидная переработка лавообразной массы, имитирующей силикатную матрицу лавообразных топливосодержащих материалов 4-го блока ЧАЭС...

by Капустин, В.Л., Левенец, В.В., Мартыненко, В.Г., Семенов, Н.А., Хованский, Н.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М., Щур, А.А.
Published 2007

Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок

by Глушко, П.И., Журавлёв, А.Ю., Капустин, В.Л., Левенец, В.В., Семенов, Н.А., Хованский, Н.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М., Шиян, А.В.
Published 2014