Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжига на параметры имплантированных слоев n-GaAs:Si

by Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Савицкий, Г.В.
Published 2005

Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”

by Савицкий, Г.В., Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Могиляк, И.А., Тростинский, И.П.
Published 2002