Экспериментальная установка для получения кластерных пучков

by Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Литвинов, П.А., Пустовойтов, С.А.
Published 2006

Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

by Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
Published 2015