Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления...

by Погребняк, А.Д., Мухаммед, А.К.М., Иващенко, М.Н., Опанасюк, Н.Н., Суджанская, И.В.
Published 2012

Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии

by Суджанская, И.В., Колесников, Д.А., Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Гриценко, В.И., Гончаров, И.Ю., Турбин, П.В., Торяник, И.Н.
Published 2011