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Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда...
von
Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht 2013
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Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий
von
Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht 2014
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Генератор газовых смесей для ионно-плазменных технологий
von
Сысоев, Ю.А.
,
Сердюк, И.В.
,
Доломанов, А.В.
,
Ковтеба, Д.В.
Veröffentlicht 2017
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Физика радиационных и ионно-плазменных технологий