Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл

by Буранич, В.В., Шелест, И.В., Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Гончарова, С.А.
Published 2018

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах...

by Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
Published 2017