Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown

von Dakhov, A.N., Dudin, S.V.
Veröffentlicht 2013

Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source

von Dakhov, A.N., Dudin, S.V.
Veröffentlicht 2014

Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma

von Dudin, S.V., Dakhov, A.N.
Veröffentlicht 2018

Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor

von Dudin, S.V., Dakhov, A.N., Lisovskiy, V.A., Pletniov, V.M.
Veröffentlicht 2012

Forming a unipolar pulsed discharge in nitrogen

von Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N.
Veröffentlicht 2016

Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride

von Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht 2016