In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing

von Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. Filatov, G. Montej
Veröffentlicht 2017

A mechanism of diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide

von Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev
Veröffentlicht 2013

Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials

von Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov
Veröffentlicht 2016

Efficiency of polishing of anisotropic single-crystal materials for optoelectronics

von Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov
Veröffentlicht 2016

Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide

von Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev, V. D. Kurilovich, M. A. Danilchenko, T. A. Prikhna, A. I. Borimskij, A. M. Kutsaj, V. G. Poltoratskij
Veröffentlicht 2015