Ion–plasma deposition of the nanostructured multicom-ponent coatings on thermolabile materials

von L. S. Osipov, Ju. Polotskij, S. A. Bespalov, M. S. Snitsar, V. I. Nevmerzhitskij
Veröffentlicht 2014

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor

von E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov
Veröffentlicht 2015

Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique

von A. P. Shapovalov, I. V. Korotash, E. M. Rudenko, F. F. Sizov, D. S. Dubyna, L. S. Osipov, Yu. Polotskiy, Z. F. Tsybrii, A. A. Korchovyi
Veröffentlicht 2015