Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide

by Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev, V. D. Kurilovich, M. A. Danilchenko, T. A. Prikhna, A. I. Borimskij, A. M. Kutsaj, V. G. Poltoratskij
Published 2015