Influence of conditions of deposition and annealing on a nanohardness of amorphous Si–C–N films

von O. K. Porada
Veröffentlicht 2015

Hard plasmachemical a-SiCN coatings

von O. K. Porada, A. O. Kozak, V. I. Ivashchenko, S. M. Dub, H. M. Tolmacheva
Veröffentlicht 2016

Electrical and photoelectrical properties of a-SICN/c-SI heterojunctions

von A. V. Sukach, V. V. Tetorkin, V. I. Ivashchenko, O. K. Porada, A. O. Kozak, A. I. Tkachuk, A. T. Voroshchenko
Veröffentlicht 2013

Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering

von A. O. Kozak, V. I. Ivashchenko, O. K. Porada, L. A. Ivashchenko, O. K. Synelnychenko, S. M. Dub, O. S. Lytvyn, I. I. Tymofieieva, H. M. Tolmacheva
Veröffentlicht 2015