Hall investigations Rutherford backscattering Semiconductors and dielectrics a-particles a-частинки alpha particles buried conductive channels implantation interface layer iмплантацiя iндуковане частинками характеристичне рентгенiвське випромiнювання nuclear microanalysis particle induced X-ray emission protons surface layers альфа-частинки заглибленi провiднi канали поверхневi наношари промiжний шар протони резерфордiвське зворотне розсiяння холiвськi дослiдження ядерний мiкроаналiз “Nuclear scanning probe” “cкануючий ядерний зонд”