Vacuum-arc deposition of nanostructure Ti-Si-N coatings from multi-component plasma

von V. M. Shulaev, A. A. Andreev, V. A. Stolbovoj, G. A. Pribytkov, A. V. Gurskikh, E. N. Korosteleva, V. V. Korzhova
Veröffentlicht 2008