Vacuum-arc deposition of nanostructure Ti-Si-N coatings from multi-component plasma

von V. M. Shulaev, A. A. Andreev, V. A. Stolbovoj, G. A. Pribytkov, A. V. Gurskikh, E. N. Korosteleva, V. V. Korzhova
Veröffentlicht 2008

The use of powder cathodes for the deposition of Ti-Si-N coatings from a filtered vacuum arc plasma

von V. V. Vasilev, A. A. Luchaninov, E. N. Reshetnjak, V. E. Strelnitskij, G. N. Tolmacheva, G. A. Pribytkov, A. V. Gurskikh, M. G. Krinitsyn
Veröffentlicht 2015