Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |