Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2003
Hauptverfasser: Lisovskiy, V.A., Booth, J.-P.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Schriftenreihe:Физическая инженерия поверхности
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-101836
record_format dspace
spelling irk-123456789-1018362016-06-09T03:02:04Z Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. 2003 Article Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836 en Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
format Article
author Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P.
spellingShingle Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P.
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Физическая инженерия поверхности
author_facet Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P.
author_sort Lisovskiy, V.A.
title Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_short Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_full Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_fullStr Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_full_unstemmed Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
title_sort simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2003
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836
citation_txt Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT lisovskiyva simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge
AT boothjp simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge
first_indexed 2025-07-07T11:27:48Z
last_indexed 2025-07-07T11:27:48Z
_version_ 1836987364572921856
fulltext ������������� � ��� � ���� ����� �������� ������� ������ �� � ��������� �� �� �� ���� �� � ��� �� ���� �� ��������� �������� ���� ������������� � ����� ��!"� ���������� ���� ��������� ������������ ������������ ��������� ���� ������� ���� ������ �� ���� ��!��"�� � �� #$ %�&'&�(�(�&�()%�)$��(�%*�)%��+�'�)$��(�) �'��)(�'),�-)��+���.�/'%�0(�'1!�2-��3��&(�%�-)�% ,*�')�!�0(�'1!�2-��*(��%�+�( ��24&(�%%*(���.�! %�$'(/�%� -�'(/�-����(�'�0(�'!�('-/���+�/'%�&(�%%*(�%�0�)2��-�&'('����4&�')������)(�!�%��5-'�6) �'� +�(,*�'%�+�(�)$������)(�-�)('-%&�()����++ � �-)%� -�'(/�-��0)' -�!�+(�,�'�7��)8,'--���!��'(��&(�%�-)�!��3��%����!�)$� 7��)8,'--��9*') �-�+�(�'(/�-�'-!�!�)�(, -�!�)$��+(�9*�-� �%��+���'%) ��'-!�-�-4��'%) ������ % �-%��+�����)(�-%�2 )$�'(/�- )$���-�(/6�+('�) �-�)('-%+�((�!�)��)$��')�,��-����� % �-�:�'%�+*-�) �-%��+�)$��(') ���+��)$������)( ��+ ��!�%)(�-/)$�)��)$��/'% &(�%%*(����� �)$��+(�9*�-�6��+��-�(/6���%%�06�����)(�-%� -����� % �-%�2 )$�'(/�-�')�,%�� ;��3��+�*-!�)$')�)$����-! ) �- ��;<;ω���((�%&�-!%�)��)$��, - ,*,��+�)$���.�0(�'1!�2-��*(����3��,'6�*%��)$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6�= �'%�'�+*-�) �-��+ )$���++��) �������)( ��+ ��!���� ����-�6�+�(�,�!��� -/��+�)$��( /$)4$'-!�% !�%��+��.�0(�'1!�2-��*(����#$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6 = �'%�'�+*-�) �-��+�)$�� -%)'-)'-��*%�����)( ��+ ��!�����%>ω)?�,*%)�0��*%�!�+�(�)$��&(�! �) �-��+��.�0(�'1!�2-����)'/� �'�*�%�)��)$����+)��+�)$��, - ,*,��+�)$��0(�'1!�2-��*(��� 5�/'%�0(�'1!�2-� -�'-��.�+ ��!����*(%�2$�-�)$� -*,0�(��+��$'(/�!�&'() ���%�/�-�(')�!�2 )$ -�)$�����*,� �+�)$��! %�$'(/��/'&�)$(�*/$� �- 8 -/�,����*��%�� '�����4 )(�-� ,&'�)� %�/(�')�(�)$'-�)$��-*,0�(��+�&'() ���%�$'� -/ ��+)�)$ %����*,��0��'*%���+�! ++*% �-�'-!�!( +)� -�)$���. ����)( ��+ ��!��#$ %�&(���%%� %�/���(-�!�06�)$���9*') �-��+ �$'(/�!�&'() ����0'�'-��� -��6� -!( �'��/��,�)(6@ ( )��� � � � � � � �� �� � � �� � � � �� � ω ν ��� � � � ⋅∇⋅− ∂ ∂+ +     ∂ ∂ ∂ ∂+= ∂ ∂ ���������������>�? 2$�(��� � � %�)$������)(�-�!�-% )6 � � %�) ,� �ν ;<;α⋅ � � � %�)$� (')���+�)$��/'%�,����*��� �- 8') �-�)$(�*/$�����)(�-� ,4 &'�) �α� %�)$��+ (%)�#�2-%�-!����++ � �-) �! " �'-!�! � �'(��)$� ���++ � �-)%� �+� ����)(�-�! ++*% �-� '��-/� '-!� '�(�%%� )$� ����)( ��+ ��! �(�%&��) ���6 ���'-!���'(��)$��('! '��'-!�'A '� ��4�(! -')�% �� � �� %�)$������)(�-�!( +)������ )6 �ω;<; π; � % )$��'-/*�'(�+(�9*�-�6 �� � %�)$���.�/�-�(')�(�+(�9*�-�6� B-��(!�(�)��,�!���)$��/'%�0(�'1!�2- �2��-��!�)��1-�2 )$��)('-%&�()����++ � �-)%��+�����)(�-%� -�)$��/'% �%*�$�'% α �! " �! � �'-!�� � ��#$�%�����++ � �-)%�2�(��!�)�(, -�!�06 %��� -/�)$��7��)8,'--��9*') �-�+�(�'(/�-��#$���'�*�%��+ )$������)(�-�)('-%&�()����++ � �-)%� -�'(/�-��0)' -�!�+(�, )$��7��)8,'--���!��2�(��'&&(�A ,')�!�2 )$�)$��+����24 -/�+�(,*�'%@ ( ) ( )         ⋅−−⋅⋅⋅= ��� ��� �� ��� � �� ��� � � α �C�,4�#�((4�D ( ) ( )( ) � ����� �� ��� � −− ⋅⋅⋅+⋅⋅⋅= � ��� �C�,E%D ( )( ) ��� � ��� � � � ����� ⋅⋅+⋅= �C�, ;#�((;%4�D� #$���9*') �-�>�?�2'%�%����!�*% -/�)$��.�FG57�&(�/4 (',� G�)�*%���-% !�(�+ (%)�)$��! %�$'(/��/'&�0�)2��-�&�'-� &'('���������)(�!�%��#$����2�(�����)(�!��>�;<;�?� %�&�2�(�! )$���.����)'/��� � ;<;� � � ;��%>ω ?�0� -/�+�!�)�� ) �)$��*&&�( ����)(�!��>�;<;";< �;,,?� %�/(�*-!�!��7�)$�����)(�!�% $'���'�! ',�)�(��+�����,��#$���')�('��2'��%��+�)$��! %4 �$'(/��)*0��'(��,'!���+�'�! ����)( � �'-!�'(��')�+��') -/ &�)�-) '��� B- ) '��6�2�� ! %(�/'(!�!� %���-!'(6� ����)(�- �, %% �-�+(�,�)$��%*(+'����+�)$������)(�!�% � ��� �)$��+��4 ��2 -/�0�*-!'(6���-! ) �-%�2�(��*%�!�+�(�)$������)(�- !�-% )6�')�����)(�!�%�'-!�)*0��2'��%@ �������� ( ) � =���� ����� ( ) � =��� ������ ( ) � ="��� �����> ? #$�� - ) '���'�*���+�)$������)(�-�!�-% )6�2'%�)'1�-�'% � �� ;<;��H;�,4���5����'��*�') �-%�2�(��&�(+�(,�!�+�(�)$��+ (%) ���&�( �!%��+�)$���.�+ ��!��#$���.����)'/��')�)$����2�( ����)(�!��2'%��'( �!� -��(!�(�)��+ -!�)$���'�*��')�2$ �$ )$��'��('/���'�*���+�)$������)(�-�!�-% )6�')�)$��! %�$'(/� ��-)(��(�,' -�!���-%)'-)� -�) ,��'+)�(�)$��+ (%)����&�( �!% �+�)$���.�+ ��! � ���� = ∂ ∂ � �� ��#$ %��'�*���+�)$���.����)'/� 2'%�)'1�-�'%�'�0(�'1!�2-��.����)'/���3���0%�(���%*�$�' % )*') �-� -�. /�;� �!�& �) -/�)$��)�,&�('��!�&�-!�-����+ )$������)(�-�!�-% )6�')�)$����-)(���+�)$��! %�$'(/��/'&� .�(��.����)'/�%�0���2�)$��0(�'1!�2-�)$(�%$��!�2���04 %�(���'�9* �1�!��(�'%���+�)$������)(�-�!�-% )6�2 )$ -�)$� �-) (��/'& �0��'*%��)$������)(�-���%%�%�!�, -')�����(�)$� ( /�-�(') �-�'-!�)$�(�+�(��)$���.�! %�$'(/��!��%�-�)� /4 - )���B+�2��+ A�)$���.����)'/��')�)$����2�(�����)(�!��'0��� )$��0(�'1!�2-��'�*� �)$�-�)$������)(�-�!�-% )6�2 ��� -4 �(�'%��2 )$�) ,��9* �1�6 �0��'*%��)$��-*,0�(��+�����)(�-% /�-�(')�!�*-!�(� �- %') �-�2 ����A���!�)$��-*,0�(��+�����4 )(�-%���%)�')�)$������)(�!�%�'-!�)*0��2'��%�!*��)��)$��!( +) -� )$������)( �� + ��!�'-!�! ++*% �-�� B-�. /�; �2��%��� )$� �'( ') �-��+�)$��'A '��&(�+ ����+�)$������)(�-�!�-% )6�!*( -/ . /�� ����'%,'� !�-% )6� � ')� )$�� ! %�$'(/�� /'&� ��-)�(� '/' -%)� ) ,�� +�( �;<� �� #�(( � � � � � <� H���� I� ������������� � ��� � ���� ����� �������� ����� �� �-��>)$���'%)���-% !�(�!?�&�( �!��+�)$���.�+ ��!��B)� %����'(4 �6�%��-�)$')�)$��'A '��&(�+ ����+�)$������)(�-�!�-% )6�!*( -/ �-��>)$���'%)���-% !�(�!?�&�( �!��+�)$���.�+ ��!��B)� %����'(4 �6�%��-�)$')�)$��'A '��&(�+ ����+�)$������)(�-�!�-% )6�&�%4 %�%%�%�'�0���4� 1�� %$'&��&�(+�(, -/��%� ��') �-%�!*( -/ )$���.�+ ��!�&�( �!�+(�,��-������)(�!��)��'-�)$�(���'��*�'4 ) �-%�2�(��'�%��&�(+�(,�!� -��*! -/�%���-!'(6�����)(�- �, %% �-�+(�,�)$��%*(+'����+�)$������)(�!�%��#$��+����24 -/���-! ) �-�2'%�'%%*,�!@ ( ) �� ��� �� ��� =+⋅γ �����������������������>�? 2$�(��γ� %�)$�����++ � �-)��+�%���-!'(6�����)(�-��, %% �- # ! � %�)$��! ++*% ���+�*A��+�����)(�-%�)��)$��%*(+'����+�)$� ����)(�!�% �# !� � %�)$������)(�-�+�*A�)��)$��%*(+'����+�)$� ����)(�!�%��'*%�!�06�)$��!( +)�,�) �-� -�)$���.�+ ��! �# $ � % )$��+�*A��+�%���-!'(6�����)(�-%��, ))�!�06�)$��%*(+'����+ )$������)(�!�%��#$���'�*�%��+�)$�����++ � �-)�γ�+�(�)$��'�*4 , -*,�����)(�!��2�(��)'1�-�+(�,�)$��&'&�(%�C ;�D��#$� ���++ � �-)�γ� %�'�+*-�) �-��+�)$������)(�-��-�(/6J�)$������4 )(�!���, )%�����)(�-%��-�6�!*( -/�)$')�$'�+4&�( �!�2$�- )$������)(�-����*!�,���%�)�2'(!%�)$ %�����)(�!��'-!�0�,4 0'(!%� )%�%*(+'�����*( -/�)$��%���-!�$'�+4&�( �!�)$������4 )(�-��, %% �-� )'1�%�&�'����-�6� +(�,� )$��%*(+'����+� )$� �)$�(�����)(�!�� . /*(�;��&(�%�-)%�)$���A&�( ,�-)'��6��0%�(��!�0(�'14 !�2-��*(����+�)$���.�! %�$'(/�� -�'(/�-�+�(�";<; �;,, &*0� %$�!� -�)$��&'&�(�C�D �'%�2����'%�)$��&(�%�-)�(�%*�)%��+ ,�!��� -/��#$��(�%*�)%��+�-*,�( �'��,�!��� -/�'/(���2 )$ )$�� ,�'%*(�!� !')'� %') %+'�)�( �6�� #$�� �.� 0(�'1!�2- ���)'/���'�*�%��0)' -�!�)$(�*/$�,�!��� -/�'(��$ /$�(�)$'- )$��,�'%*(�!��-�%� . /*(����%$�2%�% ,*�')�!��'�*�%��+�)$���.�0(�'1!�2- ���)'/��+�(�)$��/'%�&(�%%*(���;<;�� ;#�((�'%�'�+*-�) �-��+ )$�� %���-!'(6� ����)(�-� �, %% �-� ���++ � �-)�� #$�� 0�%) '/(��,�-)�2 )$�)$���A&�( ,�-)�2'%��0)' -�!�2 )$�γ;<;�� � 3�� %����!� )$��7��)8,'--� �9*') �-� +�(� '(/�-� '-! !�)�(, -�!�)$��+(�9*�-�6��+���'%) ������ % �-%��+�����)(�-% 2 )$� '(/�-� ')�,%���� � )$�� )�)'�� +(�9*�-�6� �+� �A� ) -/ ���� % �-%���%� �)$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6��� �� �)$��)�)'� +(�9*�-�6��+�����)(�-4')�,����� % �-%�Σ��'-!�)$���-�(/6 +('�) �-�)('-%+�((�!�)��)$��')�,�-����� % �-�δ�'%�+*-�) �-% �+�)$��(') ���+�)$������)( ��+ ��!�%)(�-/)$�)��)$��/'%�&(�%%*(� �E��>%���. /*(���?��#$���'�*�%��+�!�2��*%�!�+�(�!�)�(, - -/ )$��+(�9*�-�6��+��-�(/6����%%��06������)(�-%�� -������ % �-% 2 )$�'(/�-�')�,%���<�δ⋅� �2$�(��� �< Σ&�� . /*(��K�%$�2%�)$���'�*�%��+�����'%�+*-�) �-��+����E� 0(�'1!�2-��*(���'-!�)$��(') ���+�)$��0(�'1!�2-�����)( � + ��!�%)(�-/)$�)��)$��/'%�&(�%%*(���#$��!'%$�!�� -���-�)$� + /*(����((�%&�-!%��)���)$���'-/*�'(���+(�9*�-�6� ω ��+�(��)$� �.�/�-�(')�(��+(�9*�-�6�� � &��'� �����K;FL8��3���$'�� ��;<;ω�')���E��≈&"�;IE>�,;#�((?�2$ �$���((�%&�-!%�)��)$� , - ,*,��+�)$���.�0(�'1!�2-��*(��� #$���-�(/6�%&��)(*,��+�����)(�-%� %��%)'0� %$�!�')�' (')���$'('�)�( 8�!�06�)$��+(�9*�-�6��+��-�(/6���%%�06�)$� . /�� ��I'( ') �-� �+� )$�� 'A '�� &(�+ ��� �+� )$�� ����)(�-� !�-% )6� !*( -/ )$�� ��4)$� &�( �!� �+� )$�� �.� + ��!� +�(� �;<;�;#�(( . /� ����7(�'1!�2-��*(��%��+� )$���.�! %�$'(/��+�(�";<; ��;�,@�%�� ! � (���%� '(�� �A&�( ,�-)'�� !')'� C�D � �&�-� � (���%� '(�� �*(� (�%*�)%� +�( γ;<;�� >����)(�-� !�-% )6� ')� ����)(�!�%� �9*'�%� )�� 8�(�?� '-!� �- 8') �- +(�9*�-�6� � � %� +*-�) �-� �+� �++��) ��� ����)( �� + ��!� �� � � %�� ! )( '-/��%� '(�� +�(� γ <;�� � '-!� �- 8') �-� +(�9*�-�6� � � � %� +*-�) �-��+ �++��) ��� ����)( �� + ��!� �� � � �&�-� )( '-/��%� '(�� +�(� γ;<;�� � '-! �- 8') �-� +(�9*�-�6� � � %� +*-�) �-� �+� -%)'-)'-��*%� ����)( �� + ��! ����%>ω ?� . /�� ���7(�'1!�2-����)'/�%� �+� )$���.�! %�$'(/�� '%� '� +*-�) �-� �+� γ +�(� �;<;�� ;#�((@� !'%$�!� � -�� %� �A&�( ,�-)'�� 0(�'1!�2-� ���)'/�� . /�� ��� ��&�-!�-��� �+� )$�� +(�9*�-�6� �+� ��'%) �� ���� % �-%� �+� ����4 )(�-%�2 )$� '(/�-� ')�,%� ���� � )$�� )�)'�� +(�9*�-�6� �+� �A� ) -/� ���� 4 % �-%� ��%� � )$�� �- 8') �-� +(�9*�-�6� � �� � )$�� )�)'�� +(�9*�-�6� �+ ����)(�-4')�,� ���� % �-%� Σ�� '-!� )$�� �-�(/6� +('�) �-� )('-%+�((�! )�� )$��')�,��-����� % �-�δ� �-� )$�� (') ���+� )$������)( �� + ��!� %)(�-/)$ )��)$��/'%�&(�%%*(���E� �!'%$�!�� -�� %�)$���'�*���+� δ �+�(�)$����'%) � ���� % �-%� �� ���������� ����� ��!" ������������� � ��� � ���� ����� �������� ������K ����)(�-� -� )%����� % �-%�2 )$�')�,%���<�δ⋅� �>+�(���'%) � ���� % �-%�δ;<; (�) �(�'-!��)�'(������)(�-�'-!�')�,�,'%%4 �%�(�%&��) ���6?��B+� ω;MM;�� �)$��%&��)(*,�$'%�-��) ,��)� (�%&�-!�)��)$��+ ��!��%� ��') �-%��#$��%&��)(*,�'-!�)$� ,�'-��-�(/6� ε �(�,' -�-�'(�6���-%)'-)����(�'��6����'-! '�,�%)��� -� !��2 )$�)$��%&��)(*,�'-!� ε ��)$')�'(���%)'04 � %$�!� -�'�%)�'!6��++��) ���+ ��!��9*'��)� �� ��� � �� ��� � � νω ν + = � #$�� �- %') �-�+(�9*�-�6�ν *� � -�'-��.�+ ��!��+�',&� 4 )*!�� � � � %� '&&(�A ,')��6� )$�� %',�� '%� )$�� �- %') �- +(�9*�-�6�ν � -�'�%)�'!6�+ ��!����9*'��)��)$���++��) ���+ ��! ( ) ( )��� � �� �� νν = � . /�K�� ��&�-!�-��� �+� )$�� �'�*�%� �+� =�� �-� +*-�) �-� �+� �E� 0(�'1!�2-� �*(��� �� >�?� '-!� )$�� (') �� �+� )$�� 0(�'1!�2-� ����)( � + ��!� %)(�-/)$� )�� )$�� /'%� &(�%%*(�� �E�;<;�� ;E;�"&'& >�?� B-�)$��� , ) -/��'%���+���2�+(�9*�-� �%�ω;NN;ν � �)$��%&��4 )(*,�'-!�)$��,�'-��-�(/6���-% !�('0�6��'(6�2 )$ -�'��64 ������#$�6��'(��%)(�-/�6��,�!*�')�!��'-!�')���'�$�,�,�-) '&&(�A ,')��6���((�%&�-!�)��)$�� -%)'-)'-��*%�+ ��!�'%� + )�2�(�� %)�'!64%)')���#$�� �- %') �-� +(�9*�-�6�ν *� � +��4 ��2%����%��6�)$��%��2�+ ��!��'( ') �-�'-!��� -� !�%�2 )$ )$�� �- %') �-�+(�9*�-�6�ν � -�'�%)�'!6�+ ��!��9*'��)��)$� -%)'-)'-��*%�+ ��!�ν ;>� � ;% ->ω ??�C�D� #$�(�+�(��2��,'6�*%��)$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6�� �'%�' +*-�) �-��+�)$���++��) �������)( ��+ ��!�� � ��-�6�+�(�,�!�4 �� -/�+�)$��( /$)4$'-!�% !�%��+��.�0(�'1!�2-��*(����#$� �- 8') �-�+(�9*�-�6�� �'%�'�+*-�) �-��+�)$�� -%)'-)'-��*% ����)( ��+ ��!�� � ��%>2 ?�,*%)�0��*%�!�+�(�)$��&(�! �) �-��+ �.�0(�'1!�2-����)'/���'�*�%�)��)$����+)��+�)$��, - ,*, �+�)$��0(�'1!�2-��*(��� ��# ��� �� � � #$��'*)$�(%��A&(�%%��*(�/(') )*!��)��)$����5OB��.('-��4 � %&�'6%�! � % �- ��'�' %�'* �.('-���+�(�)$� (�+ -'-� '��%*&4 &�()�'-!�+�(�)$���9* &,�-)�*%�!� -�)$ %�%)*!6� � � � � � �����G %��%1 6��I�5� ��P�/�(�-1���I�����.�0(�'1!�2-��+���2 &(�%%*(��/'%�'-!�'�-�����,�)$�!�+�(�����)(�-�!( +)������ )6 !�)�(, -') �-� -�/'%�%EE�Q���$6%���@�5&&����$6%��R����"��R I������ ����� ���R����;����4���H� �������.'(-%2�()$���L��������)(�- ��0�,0'(!,�-)��+�,�)'�%*(+'��%� ��������EE��$6%�������R��� ���R�I���� � ��������R������4�H� ���� �7'/� -�I� �7�S1��Q� �T(�0-�(�U� �L�-( %)�7� �L ���(�)��� ��$�*�(�� -��� �#'0�(��� �F��#$��%���-!'(6�����)(�-�6 ��! �+� )��$- �'�� ,')�( '�%� '-!� )%� �'( ') �-� 2 )$� %*(+'�� )(�'),�-)EEH)$��*(�&�'-��'() ����5�����(')�(���-+�(�-���R I �--'�>5*%)( '?��R� ��� �R�V�� �H� ��������' 8�(�P��� ��$-� !�(�F��� �P')%�-1����5���'! �4.(�9*�-4 �6��'&'� ) ���� %�$'(/�%EE�����(�%% �7��'��')�-�R����� R�V���H� �������� ���� ����� ����� �� �������� ��� ������������� ������������� !"�#�$ ��%&' ��������������������� !"#$���%�� �� �%&��'����(#��) ��* �����+� '�!"� ,� �-� ��#��� .�%, � ��� � �� �%&��� /�%,� !���# ��*��-�01��(��'����!�*�"��%!$/�'���%(/"�,���'��� 1�)��#�(/%1%�����# #$�%1%� # /�����1%��.���������#��%&�� 2��1"#%��#*�/� 2��� ���,�� � ��("� # /�����,�,���'��� �*/� �"#�� ���%1���� 1 ����1� &%(#�,�'�� ���#�!" � ��,�*��* 3�#$�1�����4�!,5*!������,�*��*�3�#$�1�����#*���'��"��� ���%1�#%� &�(���%� ��")�%6� ��� � ��")�%6� !��/� �$ # /�����,� !� ���1�1%� ��'��"�� &�(�%�"� � �'�7�� */�� � � 8 ��0�$(*� ���1"� ��%� ����1"� !��/� ����δ�*/�2"�/��+� (��,8 ,����9 ��*�����"'%� # /��%&��'����#*�����%(/"�'�!"����� &�(���"��,����%� � �'�7� # /�����1%���%�!��/� ����!����1�1% ��'��"� ���;��:���� ����;��1���1"1"��-�/�%,�7�!���# ��* ,����,���0�"1�,����;<;ω��.�/�!�����;��&�(���������!���7�� */�2"�/��*� 2 /�%,��'�� # /��%&��'����#*�� � � 1�) ��"�% ,%/��%(�����#%9 ��#*�1�� #+,���*����,�7�'�#/%��-�/�%,�7 !���# ��*��-�(���������!���7�� �*/�2"�/��*�1%��0,�'�� # /�8 �%&��'�� ��#*�����%>ω)?���,%����,%/��%(��,",��%(*� �#* � � ���& ��*� , #%&%�%��-� ��������7� ����"'%� !#�,�� ,�� 1���1"1"�/�%,�7�!���# ��*� ���������� �����#��� � ��� ������ �������� ��� ������������ � ������ ����� !"�#�$ ��%&' ����(��*; ������� ��� �(��,# �<�� !"#$���<�� �� �%& (8 /�'�� %((# ��,��%*� �����*� '�!�� ,� �-� ��# �� .�%, � �< � �� �%& (/% �/�%,< �!�)%'��%*��-���!�*����%!/�'����,8 # �%*� ,� ��'�� � 1 )�"� �#�(/%1%� ����## #$�<1%� =# /�8 ����1%��.� �(��,# �<����#%�%& (/% �2��1"#<��#*�/�=28 2%�% ���,� � � ��(�� =# /�����,� ,� ��'�� �� ��#"& ��< 1 ����1�&%(# ���'�����#%!��"��,� �%*�3�#$�1�����4 9 �� "��,� �% � 3�#$�1���� �#*� ��'���� %� ��� � #%#%� &�(���< "��"'%6�%�� "��"'%6�(��#/��, �%��=# /�����,�(����1�1% ��'����� ��#+� =� �'%%�� � � ������� ���1"� ��%� ����1 (��#/��, �%%��δ�/�/�2"�/�%+�����9 �%*�����*) ���(�% =# /��%& (/�'����#*�/���,# �%+�'�!�������&�(���"���� �% =� �'%%�=# /�����1%���%�(��#/��, �%%�(����1�1%���'��� ��;�� >����") ���� &��� 1%�%1"1"� �-� /�%,��� !�)%'��%* (���, �(�," ��"(#�,% ���;<;ω��.�/�!�����&���&�(�����%��%8 !��%%�� �/�/�2"�/�%*�=22 /�%,��'��=# /��%& (/�'����#* �� ��1�) ���<�$�%(��#$!�,������#$/���#*�1�� #%��,��%* ���,���, �,%��-�/�%,���!�)%'��%*��-�(�����%��%!��%%�� /�/�2"�/�%*�1'��, ���'��=# /��%& (/�'����#*�����%>ω)? ��#)���%(��#$!�,��$(*��#*��� �(/�!��%*�, #%&%���-����8 �����'������*) �%*�(# ,�����1%�%1"1��/�%,���!�)%'��%*� Q� ��������� �� �� �� ���� �� � ��� �� ���� �� ��������� ��������