Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Gespeichert in:
Datum: | 2003 |
---|---|
Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
Schriftenreihe: | Физическая инженерия поверхности |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-101836 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1018362016-06-09T03:02:04Z Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. 2003 Article Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836 en Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
format |
Article |
author |
Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. |
spellingShingle |
Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge Физическая инженерия поверхности |
author_facet |
Lisovskiy, V.A. Booth, J.-P. |
author_sort |
Lisovskiy, V.A. |
title |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
title_short |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
title_full |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
title_fullStr |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
title_full_unstemmed |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
title_sort |
simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge |
publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
publishDate |
2003 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836 |
citation_txt |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
series |
Физическая инженерия поверхности |
work_keys_str_mv |
AT lisovskiyva simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge AT boothjp simulationohtheignitionofalowpressurerfcapacitivedischarge |
first_indexed |
2025-07-07T11:27:48Z |
last_indexed |
2025-07-07T11:27:48Z |
_version_ |
1836987364572921856 |
fulltext |
������������� �
��� �
���� ����� �������� �������
������
��
�
���������
��
��
�� ����
��
�
���
��
����
��
���������
��������
����
�������������
�
�����
��!"�
����������
����
���������
������������
������������
���������
����
�������
����
������
��
���� ��!��"��
�
��
#$ %�&'&�(�(�&�()%�)$��(�%*�)%��+�'�)$��(�) �'��)(�'),�-)��+���.�/'%�0(�'1!�2-��3��&(�%�-)�% ,*�')�!�0(�'1!�2-��*(��%�+�(
��24&(�%%*(���.�! %�$'(/�%� -�'(/�-����(�'�0(�'!�('-/���+�/'%�&(�%%*(�%�0�)2��-�&'('����4&�')������)(�!�%��5-'�6) �'�
+�(,*�'%�+�(�)$������)(�-�)('-%&�()����++ � �-)%� -�'(/�-��0)' -�!�+(�,�'�7��)8,'--���!��'(��&(�%�-)�!��3��%����!�)$�
7��)8,'--��9*') �-�+�(�'(/�-�'-!�!�)�(, -�!�)$��+(�9*�-� �%��+���'%) ��'-!�-�-4��'%) ������ % �-%��+�����)(�-%�2 )$�'(/�-
)$���-�(/6�+('�) �-�)('-%+�((�!�)��)$��')�,��-����� % �-�:�'%�+*-�) �-%��+�)$��(') ���+��)$������)( ��+ ��!�%)(�-/)$�)��)$��/'%
&(�%%*(����� �)$��+(�9*�-�6��+��-�(/6���%%�06�����)(�-%� -����� % �-%�2 )$�'(/�-�')�,%��
;��3��+�*-!�)$')�)$����-! ) �-
��;<;ω���((�%&�-!%�)��)$��, - ,*,��+�)$���.�0(�'1!�2-��*(����3��,'6�*%��)$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6�=
�'%�'�+*-�) �-��+
)$���++��) �������)( ��+ ��!���� ����-�6�+�(�,�!��� -/��+�)$��( /$)4$'-!�% !�%��+��.�0(�'1!�2-��*(����#$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6
=
�'%�'�+*-�) �-��+�)$�� -%)'-)'-��*%�����)( ��+ ��!�����%>ω)?�,*%)�0��*%�!�+�(�)$��&(�! �) �-��+��.�0(�'1!�2-����)'/�
�'�*�%�)��)$����+)��+�)$��, - ,*,��+�)$��0(�'1!�2-��*(���
5�/'%�0(�'1!�2-� -�'-��.�+ ��!����*(%�2$�-�)$�
-*,0�(��+��$'(/�!�&'() ���%�/�-�(')�!�2 )$ -�)$�����*,�
�+�)$��! %�$'(/��/'&�)$(�*/$� �- 8 -/�,����*��%�� '�����4
)(�-� ,&'�)� %�/(�')�(�)$'-�)$��-*,0�(��+�&'() ���%�$'� -/
��+)�)$ %����*,��0��'*%���+�! ++*% �-�'-!�!( +)� -�)$���.
����)( ��+ ��!��#$ %�&(���%%� %�/���(-�!�06�)$���9*') �-��+
�$'(/�!�&'() ����0'�'-��� -��6� -!( �'��/��,�)(6@
( )���
�
�
�
�
�
�
��
��
�
�
��
�
�
�
��
�
ω
ν
���
�
�
�
⋅∇⋅−
∂
∂+
+
∂
∂
∂
∂+=
∂
∂
���������������>�?
2$�(���
�
� %�)$������)(�-�!�-% )6 �
� %�) ,� �ν
;<;α⋅ �
�
� %�)$�
(')���+�)$��/'%�,����*��� �- 8') �-�)$(�*/$�����)(�-� ,4
&'�) �α� %�)$��+ (%)�#�2-%�-!����++ � �-) �!
"
�'-!�!
�
�'(��)$�
���++ � �-)%� �+� ����)(�-�! ++*% �-� '��-/� '-!� '�(�%%� )$�
����)( ��+ ��! �(�%&��) ���6 ���'-!���'(��)$��('! '��'-!�'A '�
��4�(! -')�% ��
�
�� %�)$������)(�-�!( +)������ )6 �ω;<;
π; � %
)$��'-/*�'(�+(�9*�-�6 �� � %�)$���.�/�-�(')�(�+(�9*�-�6�
B-��(!�(�)��,�!���)$��/'%�0(�'1!�2- �2��-��!�)��1-�2
)$��)('-%&�()����++ � �-)%��+�����)(�-%� -�)$��/'% �%*�$�'%
α �!
"
�!
�
�'-!��
�
��#$�%�����++ � �-)%�2�(��!�)�(, -�!�06
%��� -/�)$��7��)8,'--��9*') �-�+�(�'(/�-��#$���'�*�%��+
)$������)(�-�)('-%&�()����++ � �-)%� -�'(/�-��0)' -�!�+(�,
)$��7��)8,'--���!��2�(��'&&(�A ,')�!�2 )$�)$��+����24
-/�+�(,*�'%@
( )
( )
⋅−−⋅⋅⋅= ���
���
��
���
�
�� ���
�
�
α �C�,4�#�((4�D
( ) ( )( )
� �����
�� ��� �
−− ⋅⋅⋅+⋅⋅⋅=
�
���
�C�,E%D
( )( )
��� � ��� � � �
����� ⋅⋅+⋅= �C�,
;#�((;%4�D�
#$���9*') �-�>�?�2'%�%����!�*% -/�)$��.�FG57�&(�/4
(',�
G�)�*%���-% !�(�+ (%)�)$��! %�$'(/��/'&�0�)2��-�&�'-�
&'('���������)(�!�%��#$����2�(�����)(�!��>�;<;�?� %�&�2�(�!
)$���.����)'/���
�
;<;�
� �
;��%>ω
?�0� -/�+�!�)�� ) �)$��*&&�(
����)(�!��>�;<;";<
�;,,?� %�/(�*-!�!��7�)$�����)(�!�%
$'���'�! ',�)�(��+�����,��#$���')�('��2'��%��+�)$��! %4
�$'(/��)*0��'(��,'!���+�'�! ����)( � �'-!�'(��')�+��') -/
&�)�-) '��� B- ) '��6�2�� ! %(�/'(!�!� %���-!'(6� ����)(�-
�, %% �-�+(�,�)$��%*(+'����+�)$������)(�!�% � ��� �)$��+��4
��2 -/�0�*-!'(6���-! ) �-%�2�(��*%�!�+�(�)$������)(�-
!�-% )6�')�����)(�!�%�'-!�)*0��2'��%@
�������� ( ) � =���� ����� ( ) � =��� ������ ( ) � ="��� �����>
?
#$�� - ) '���'�*���+�)$������)(�-�!�-% )6�2'%�)'1�-�'%
�
��
;<;��H;�,4���5����'��*�') �-%�2�(��&�(+�(,�!�+�(�)$��+ (%)
���&�( �!%��+�)$���.�+ ��!��#$���.����)'/��')�)$����2�(
����)(�!��2'%��'( �!� -��(!�(�)��+ -!�)$���'�*��')�2$ �$
)$��'��('/���'�*���+�)$������)(�-�!�-% )6�')�)$��! %�$'(/�
��-)(��(�,' -�!���-%)'-)� -�) ,��'+)�(�)$��+ (%)����&�( �!%
�+�)$���.�+ ��! � ���� =
∂
∂
�
��
��#$ %��'�*���+�)$���.����)'/�
2'%�)'1�-�'%�'�0(�'1!�2-��.����)'/���3���0%�(���%*�$�'
% )*') �-� -�. /�;� �!�& �) -/�)$��)�,&�('��!�&�-!�-����+
)$������)(�-�!�-% )6�')�)$����-)(���+�)$��! %�$'(/��/'&�
.�(��.����)'/�%�0���2�)$��0(�'1!�2-�)$(�%$��!�2���04
%�(���'�9* �1�!��(�'%���+�)$������)(�-�!�-% )6�2 )$ -�)$�
�-) (��/'& �0��'*%��)$������)(�-���%%�%�!�, -')�����(�)$� (
/�-�(') �-�'-!�)$�(�+�(��)$���.�! %�$'(/��!��%�-�)� /4
- )���B+�2��+ A�)$���.����)'/��')�)$����2�(�����)(�!��'0���
)$��0(�'1!�2-��'�*� �)$�-�)$������)(�-�!�-% )6�2 ��� -4
�(�'%��2 )$�) ,��9* �1�6 �0��'*%��)$��-*,0�(��+�����)(�-%
/�-�(')�!�*-!�(� �- %') �-�2 ����A���!�)$��-*,0�(��+�����4
)(�-%���%)�')�)$������)(�!�%�'-!�)*0��2'��%�!*��)��)$��!( +)
-� )$������)( �� + ��!�'-!�! ++*% �-�� B-�. /�;
�2��%��� )$�
�'( ') �-��+�)$��'A '��&(�+ ����+�)$������)(�-�!�-% )6�!*( -/
. /�� ����'%,'� !�-% )6� � ')� )$�� ! %�$'(/�� /'&� ��-)�(� '/' -%)� ) ,�� +�(
�;<� �� #�(( � � �
�
� <� H���� I�
������������� �
��� �
���� ����� �������� ����� ��
�-��>)$���'%)���-% !�(�!?�&�( �!��+�)$���.�+ ��!��B)� %����'(4
�6�%��-�)$')�)$��'A '��&(�+ ����+�)$������)(�-�!�-% )6�!*( -/
�-��>)$���'%)���-% !�(�!?�&�( �!��+�)$���.�+ ��!��B)� %����'(4
�6�%��-�)$')�)$��'A '��&(�+ ����+�)$������)(�-�!�-% )6�&�%4
%�%%�%�'�0���4� 1�� %$'&��&�(+�(, -/��%� ��') �-%�!*( -/
)$���.�+ ��!�&�( �!�+(�,��-������)(�!��)��'-�)$�(���'��*�'4
) �-%�2�(��'�%��&�(+�(,�!� -��*! -/�%���-!'(6�����)(�-
�, %% �-�+(�,�)$��%*(+'����+�)$������)(�!�%��#$��+����24
-/���-! ) �-�2'%�'%%*,�!@
( )
�� ��� �� ��� =+⋅γ �����������������������>�?
2$�(��γ� %�)$�����++ � �-)��+�%���-!'(6�����)(�-��, %% �-
#
!
�
%�)$��! ++*% ���+�*A��+�����)(�-%�)��)$��%*(+'����+�)$�
����)(�!�% �#
!�
� %�)$������)(�-�+�*A�)��)$��%*(+'����+�)$�
����)(�!�%��'*%�!�06�)$��!( +)�,�) �-� -�)$���.�+ ��! �#
$
� %
)$��+�*A��+�%���-!'(6�����)(�-%��, ))�!�06�)$��%*(+'����+
)$������)(�!�%��#$���'�*�%��+�)$�����++ � �-)�γ�+�(�)$��'�*4
, -*,�����)(�!��2�(��)'1�-�+(�,�)$��&'&�(%�C
;�D��#$�
���++ � �-)�γ� %�'�+*-�) �-��+�)$������)(�-��-�(/6J�)$������4
)(�!���, )%�����)(�-%��-�6�!*( -/�)$')�$'�+4&�( �!�2$�-
)$������)(�-����*!�,���%�)�2'(!%�)$ %�����)(�!��'-!�0�,4
0'(!%� )%�%*(+'�����*( -/�)$��%���-!�$'�+4&�( �!�)$������4
)(�-��, %% �-� )'1�%�&�'����-�6� +(�,� )$��%*(+'����+� )$�
�)$�(�����)(�!��
. /*(�;��&(�%�-)%�)$���A&�( ,�-)'��6��0%�(��!�0(�'14
!�2-��*(����+�)$���.�! %�$'(/�� -�'(/�-�+�(�";<;
�;,,
&*0� %$�!� -�)$��&'&�(�C�D �'%�2����'%�)$��&(�%�-)�(�%*�)%��+
,�!��� -/��#$��(�%*�)%��+�-*,�( �'��,�!��� -/�'/(���2 )$
)$�� ,�'%*(�!� !')'� %') %+'�)�( �6�� #$�� �.� 0(�'1!�2-
���)'/���'�*�%��0)' -�!�)$(�*/$�,�!��� -/�'(��$ /$�(�)$'-
)$��,�'%*(�!��-�%�
. /*(����%$�2%�% ,*�')�!��'�*�%��+�)$���.�0(�'1!�2-
���)'/��+�(�)$��/'%�&(�%%*(���;<;��
;#�((�'%�'�+*-�) �-��+
)$�� %���-!'(6� ����)(�-� �, %% �-� ���++ � �-)�� #$�� 0�%)
'/(��,�-)�2 )$�)$���A&�( ,�-)�2'%��0)' -�!�2 )$�γ;<;��
�
3�� %����!� )$��7��)8,'--� �9*') �-� +�(� '(/�-� '-!
!�)�(, -�!�)$��+(�9*�-�6��+���'%) ������ % �-%��+�����)(�-%
2 )$� '(/�-� ')�,%���� � )$�� )�)'�� +(�9*�-�6� �+� �A� ) -/
���� % �-%���%� �)$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6���
�� �)$��)�)'�
+(�9*�-�6��+�����)(�-4')�,����� % �-%���'-!�)$���-�(/6
+('�) �-�)('-%+�((�!�)��)$��')�,�-����� % �-�δ�'%�+*-�) �-%
�+�)$��(') ���+�)$������)( ��+ ��!�%)(�-/)$�)��)$��/'%�&(�%%*(�
�E��>%���. /*(���?��#$���'�*�%��+�!�2��*%�!�+�(�!�)�(, - -/
)$��+(�9*�-�6��+��-�(/6����%%��06������)(�-%�� -������ % �-%
2 )$�'(/�-�')�,%���<�δ⋅�
�2$�(���
�< Σ&��
. /*(��K�%$�2%�)$���'�*�%��+�����'%�+*-�) �-��+����E�
0(�'1!�2-��*(���'-!�)$��(') ���+�)$��0(�'1!�2-�����)( �
+ ��!�%)(�-/)$�)��)$��/'%�&(�%%*(���#$��!'%$�!�� -���-�)$�
+ /*(����((�%&�-!%��)���)$���'-/*�'(���+(�9*�-�6� ω ��+�(��)$�
�.�/�-�(')�(��+(�9*�-�6�� � &��'� �����K;FL8��3���$'��
��;<;ω�')���E��≈&"�;IE>�,;#�((?�2$ �$���((�%&�-!%�)��)$�
, - ,*,��+�)$���.�0(�'1!�2-��*(���
#$���-�(/6�%&��)(*,��+�����)(�-%� %��%)'0� %$�!�')�'
(')���$'('�)�( 8�!�06�)$��+(�9*�-�6��+��-�(/6���%%�06�)$�
. /��
��I'( ') �-� �+� )$�� 'A '�� &(�+ ��� �+� )$�� ����)(�-� !�-% )6� !*( -/
)$�� ��4)$� &�( �!� �+� )$�� �.� + ��!� +�(� �;<;�;#�((
. /� ����7(�'1!�2-��*(��%��+� )$���.�! %�$'(/��+�(�";<;
��;�,@�%�� !
� (���%� '(�� �A&�( ,�-)'�� !')'� C�D � �&�-� � (���%� '(�� �*(� (�%*�)%� +�(
γ;<;�� >����)(�-� !�-% )6� ')� ����)(�!�%� �9*'�%� )�� 8�(�?� '-!� �- 8') �-
+(�9*�-�6� �
� %� +*-�) �-� �+� �++��) ��� ����)( �� + ��!� �� � � %�� !
)( '-/��%� '(�� +�(� γ <;��
� '-!� �- 8') �-� +(�9*�-�6� � �
� %� +*-�) �-��+
�++��) ��� ����)( �� + ��!� �� � � �&�-� )( '-/��%� '(�� +�(� γ;<;��
� '-!
�- 8') �-� +(�9*�-�6� �
� %� +*-�) �-� �+� -%)'-)'-��*%� ����)( �� + ��!
����%>ω
?�
. /�� ���7(�'1!�2-����)'/�%� �+� )$���.�! %�$'(/�� '%� '� +*-�) �-� �+� γ
+�(� �;<;��
;#�((@� !'%$�!� � -�� %� �A&�( ,�-)'�� 0(�'1!�2-� ���)'/��
. /�� ��� ��&�-!�-��� �+� )$�� +(�9*�-�6� �+� ��'%) �� ���� % �-%� �+� ����4
)(�-%�2 )$� '(/�-� ')�,%� ���� � )$�� )�)'�� +(�9*�-�6� �+� �A� ) -/� ���� 4
% �-%� ��%� � )$�� �- 8') �-� +(�9*�-�6� �
�� � )$�� )�)'�� +(�9*�-�6� �+
����)(�-4')�,� ���� % �-%� �� '-!� )$�� �-�(/6� +('�) �-� )('-%+�((�!
)�� )$��')�,��-����� % �-�δ� �-� )$�� (') ���+� )$������)( �� + ��!� %)(�-/)$
)��)$��/'%�&(�%%*(���E� �!'%$�!�� -�� %�)$���'�*���+� δ �+�(�)$����'%) �
���� % �-%�
��
����������
�����
��!"
������������� �
��� �
���� ����� �������� ������K
����)(�-� -� )%����� % �-%�2 )$�')�,%���<�δ⋅�
�>+�(���'%) �
���� % �-%�δ;<;
(�) �(�'-!��)�'(������)(�-�'-!�')�,�,'%%4
�%�(�%&��) ���6?��B+� ω;MM;�� �)$��%&��)(*,�$'%�-��) ,��)�
(�%&�-!�)��)$��+ ��!��%� ��') �-%��#$��%&��)(*,�'-!�)$�
,�'-��-�(/6� ε �(�,' -�-�'(�6���-%)'-)����(�'��6����'-!
'�,�%)��� -� !��2 )$�)$��%&��)(*,�'-!� ε ��)$')�'(���%)'04
� %$�!� -�'�%)�'!6��++��) ���+ ��!��9*'��)�
�� ���
�
��
���
�
�
νω
ν
+
=
�
#$�� �- %') �-�+(�9*�-�6�ν
*�
� -�'-��.�+ ��!��+�',&� 4
)*!�� �
�
� %� '&&(�A ,')��6� )$�� %',�� '%� )$�� �- %') �-
+(�9*�-�6�ν
� -�'�%)�'!6�+ ��!����9*'��)��)$���++��) ���+ ��!
( ) ( )��� � �� �� νν = �
. /�K�� ��&�-!�-��� �+� )$�� �'�*�%� �+� =�� �-� +*-�) �-� �+� �E�
0(�'1!�2-� �*(��� �� >�?� '-!� )$�� (') �� �+� )$�� 0(�'1!�2-� ����)( �
+ ��!� %)(�-/)$� )�� )$�� /'%� &(�%%*(�� �E�;<;�� ;E;�"&'& >�?�
B-�)$��� , ) -/��'%���+���2�+(�9*�-� �%�ω;NN;ν
�
�)$��%&��4
)(*,�'-!�)$��,�'-��-�(/6���-% !�('0�6��'(6�2 )$ -�'��64
������#$�6��'(��%)(�-/�6��,�!*�')�!��'-!�')���'�$�,�,�-)
'&&(�A ,')��6���((�%&�-!�)��)$�� -%)'-)'-��*%�+ ��!�'%� +
)�2�(�� %)�'!64%)')���#$�� �- %') �-� +(�9*�-�6�ν
*�
� +��4
��2%����%��6�)$��%��2�+ ��!��'( ') �-�'-!��� -� !�%�2 )$
)$�� �- %') �-�+(�9*�-�6�ν
� -�'�%)�'!6�+ ��!��9*'��)��)$�
-%)'-)'-��*%�+ ��!�ν
;>�
�
;% ->ω
??�C�D�
#$�(�+�(��2��,'6�*%��)$�� �- 8') �-�+(�9*�-�6��
�'%�'
+*-�) �-��+�)$���++��) �������)( ��+ ��!��
�
��-�6�+�(�,�!�4
�� -/�+�)$��( /$)4$'-!�% !�%��+��.�0(�'1!�2-��*(����#$�
�- 8') �-�+(�9*�-�6��
�'%�'�+*-�) �-��+�)$�� -%)'-)'-��*%
����)( ��+ ��!��
�
��%>2
?�,*%)�0��*%�!�+�(�)$��&(�! �) �-��+
�.�0(�'1!�2-����)'/���'�*�%�)��)$����+)��+�)$��, - ,*,
�+�)$��0(�'1!�2-��*(���
��# ���
��
�
�
#$��'*)$�(%��A&(�%%��*(�/(') )*!��)��)$����5OB��.('-��4
� %&�'6%�! � % �- ��'�' %�'* �.('-���+�(�)$� (�+ -'-� '��%*&4
&�()�'-!�+�(�)$���9* &,�-)�*%�!� -�)$ %�%)*!6�
�
�
�
�
�
�����G %��%1 6��I�5� ��P�/�(�-1���I�����.�0(�'1!�2-��+���2
&(�%%*(��/'%�'-!�'�-�����,�)$�!�+�(�����)(�-�!( +)������ )6
!�)�(, -') �-� -�/'%�%EE�Q���$6%���@�5&&����$6%��R����"��R
I������ �����
���R����;����4���H�
�������.'(-%2�()$���L��������)(�- ��0�,0'(!,�-)��+�,�)'�%*(+'��%�
��������EE��$6%�������R���
���R�I����
� ��������R������4�H�
���� �7'/� -�I� �7�S1��Q� �T(�0-�(�U� �L�-( %)�7� �L ���(�)���
��$�*�(�� -��� �#'0�(��� �F��#$��%���-!'(6�����)(�-�6 ��!
�+� )��$- �'�� ,')�( '�%� '-!� )%� �'( ') �-� 2 )$� %*(+'��
)(�'),�-)EEH)$��*(�&�'-��'() ����5�����(')�(���-+�(�-���R
I �--'�>5*%)( '?��R�
��� �R�V��
�H�
��������' 8�(�P��� ��$-� !�(�F��� �P')%�-1����5���'! �4.(�9*�-4
�6��'&'� ) ���� %�$'(/�%EE�����(�%% �7��'��')�-�R�����
R�V���H�
��������
����
�����
����� �� ��������
��� �������������
������������� !"�#�$
��%&'
��������������������� !"#$���%�� �� �%&��'����(#��) ��*
�����+� '�!"� ,� �-� ��#��� .�%, � ��� � �� �%&��� /�%,�
!���# ��*��-�01��(��'����!�*�"��%!$/�'���%(/"�,���'���
1�)��#�(/%1%�����# #$�%1%� # /�����1%��.���������#��%&��
2��1"#%��#*�/� 2��� ���,�� � ��("� # /�����,�,���'��� �*/�
�"#�� ���%1���� 1 ����1� &%(#�,�'�� ���#�!" � ��,�*��*
3�#$�1�����4�!,5*!������,�*��*�3�#$�1�����#*���'��"���
���%1�#%� &�(���%� ��")�%6� ��� � ��")�%6� !��/� �$
# /�����,� !� ���1�1%� ��'��"�� &�(�%�"� � �'�7�� */�� � � 8
��0�$(*� ���1"� ��%� ����1"� !��/� ����δ�*/�2"�/��+� (��,8
,����9 ��*�����"'%� # /��%&��'����#*�����%(/"�'�!"�����
&�(���"��,����%� � �'�7� # /�����1%���%�!��/� ����!����1�1%
��'��"� ���;��:���� ����;��1���1"1"��-�/�%,�7�!���# ��*
,����,���0�"1�,����;<;ω��.�/�!�����;��&�(���������!���7��
*/�2"�/��*� 2 /�%,��'�� # /��%&��'����#*��
� �
1�) ��"�%
,%/��%(�����#%9 ��#*�1�� #+,���*����,�7�'�#/%��-�/�%,�7
!���# ��*��-�(���������!���7��
�*/�2"�/��*�1%��0,�'�� # /�8
�%&��'�� ��#*�����%>ω)?���,%����,%/��%(��,",��%(*� �#*
� � ���& ��*� , #%&%�%��-� ��������7� ����"'%� !#�,�� ,��
1���1"1"�/�%,�7�!���# ��*�
���������� �����#��� �
���
������ ��������
��� ������������ �
������ ����� !"�#�$
��%&'
����(��*; ������� ��� �(��,# �<�� !"#$���<�� �� �%& (8
/�'�� %((# ��,��%*� �����*� '�!�� ,� �-� ��# �� .�%, � �<
� �� �%& (/% �/�%,< �!�)%'��%*��-���!�*����%!/�'����,8
# �%*� ,� ��'�� � 1 )�"� �#�(/%1%� ����## #$�<1%� =# /�8
����1%��.� �(��,# �<����#%�%& (/% �2��1"#<��#*�/�=28
2%�% ���,� � � ��(�� =# /�����,� ,� ��'�� �� ��#"& ��<
1 ����1�&%(# ���'�����#%!��"��,� �%*�3�#$�1�����4 9 ��
"��,� �% � 3�#$�1���� �#*� ��'���� %� ��� � #%#%� &�(���<
"��"'%6�%�� "��"'%6�(��#/��, �%��=# /�����,�(����1�1%
��'����� ��#+� =� �'%%�� � � ������� ���1"� ��%� ����1
(��#/��, �%%��δ�/�/�2"�/�%+�����9 �%*�����*) ���(�%
=# /��%& (/�'����#*�/���,# �%+�'�!�������&�(���"���� �%
=� �'%%�=# /�����1%���%�(��#/��, �%%�(����1�1%���'���
��;�� >����") ���� &��� 1%�%1"1"� �-� /�%,��� !�)%'��%*
(���, �(�," ��"(#�,% ���;<;ω��.�/�!�����&���&�(�����%��%8
!��%%��
�/�/�2"�/�%*�=22 /�%,��'��=# /��%& (/�'����#*
�� ��1�) ���<�$�%(��#$!�,������#$/���#*�1�� #%��,��%*
���,���, �,%��-�/�%,���!�)%'��%*��-�(�����%��%!��%%��
/�/�2"�/�%*�1'��, ���'��=# /��%& (/�'����#*�����%>ω)?
��#)���%(��#$!�,��$(*��#*��� �(/�!��%*�, #%&%���-����8
�����'������*) �%*�(# ,�����1%�%1"1��/�%,���!�)%'��%*�
Q�
���������
��
��
�� ����
��
�
���
��
����
��
���������
��������
|