Кластерные образования проводящих квантовых структур в монокристаллическом кремнии для гелиоэнергетики
Рассматриваются физические процессы образования и управления кластерными объединениями в проводящих квантовых структурах в монокристалле кремния. Выделены основные радиационные процессы с пространственной изотропией вылета осколков ядер тяжелых элементов при их фотоделении для обработки кремниевых с...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101958 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Кластерные образования проводящих квантовых структур в монокристаллическом кремнии для гелиоэнергетики / В.П. Ефимов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 402-407. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |