Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію
Методами атомової силової мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії, залежно від типу вихідної структури та фізико-хемічного впливу під час зростання, в леґованих фосфором полікристалічних кремнійових плівках досліджено характеристики меж зерен, проаналізовано механізми формування як потр...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104075 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію / О.Т. Богорош, С.О. Воронов, І.О. Шматко, О.А. Шматко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 2. — С. 187-197. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. |