Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію
Методами атомової силової мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії, залежно від типу вихідної структури та фізико-хемічного впливу під час зростання, в леґованих фосфором полікристалічних кремнійових плівках досліджено характеристики меж зерен, проаналізовано механізми формування як потр...
Saved in:
| Date: | 2013 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Series: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104075 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію / О.Т. Богорош, С.О. Воронов, І.О. Шматко, О.А. Шматко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 2. — С. 187-197. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. |