СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники
В статье представлены результаты численного исследования высоколокального СВЧ разогрева тонких пленок полупроводников и диэлектриков на высокоомной подложке кремния. Сравнение с ранее опубликованными нами результатами исследования разогрева кремниевых подложек показывает, что в связи с высокой тепло...
Gespeichert in:
| Datum: | 2015 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2015
|
| Schriftenreihe: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108719 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники / Ю.Е. Гордиенко, М.И. Пятайкина, А.В. Полищук // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 209-217. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |