Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system

Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system

In experiments on two helicon sources driven by a planar antenna, it is shown that the plasma density in the drift chamber and the energies and density of the ion flux onto the substrate holder can be effectively controlled by changing the local magnetic field and the holder potential.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2013
Автори:	Semenyuk, V.F., Virko, V.F., Korotash, I.V., Osipov, L.S., Polotsky, D.Yu., Rudenko, E.M., Slobodyan, V.M., Shamrai, K.P.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112183
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system / V.F. Semenyuk, V.F. Virko, I.V. Korotash, L.S. Osipov, D.Yu. Polotsky, E.M. Rudenko,V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 179-182. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Іnvestigation of plasma of arc discharge between melting Cu- and Ni-electrodes
за авторством: Kleshich, M.M., та інші
Опубліковано: (2018)

Decomposition of ethelene in low temperature plasma of barrierless discharge
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Inter-electrode distance effect on dc discharge characteristics in nitrogen
за авторством: Lisovskiyс, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Investigation of electric ARC plasma between composite Cu–C electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2013)

Optical radiation special features from plasma of low pressure discharge initiated by microwave radiation with stochastic jumping phase
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)

Studies of microwave characteristics and plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Gas temperature of diffuse negative corona discharge
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)

The influence of exothermic reactions on the nonequilibrium level of discharge plasma
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2013)

Еlectrodes dimensions effect on the self-sustained plasma-beam discharge power
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Hollow cathode discharge in low pressure oxygen: transient mode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Numerical simulation of gas-dynamic stage of spark discharge in oxygen
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Kinetic processes in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Kinetics of plasmachemical processes in barrier discharge on ambient air
за авторством: Soloshenko, I.A., та інші
Опубліковано: (2008)

Ignition and break-down of the gas discharge in magnetic field
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Numerical investigation of the formation of chemically active components in the spark discharge in water vapors
за авторством: Vinnikov, D.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Burning modes of dc low pressure discharge with a transverse constriction
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Positive ion motion in cathode sheath of glow discharge in N₂O
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Plasma’s kinetics in discharge in mixture of air, water and ethanol steams and the questions of alternative fuel
за авторством: Shchedrin, A.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Development of azimuthally not uniform processes in corona discharge in axially symmetric gap
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Kinetics of Ar2+, Ar2* and Ar* in volume barrier discharge in argon
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Peculiarities of UV radiation from hollow cathode discharge plasma used for sterilization of medical articles
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Axial structure of hollow cathode DC glow discharge in different burning modes
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)

Сathode design effect on gas breakdown and modes of burning of the glow discharge in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Сharging processes and phase states of macroparticles in low-pressure arc discharge
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Validation of the numerical model of a spark channel expansion in a low-energy atmospheric pressure discharge
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Computer modeling of the gas discharge in the electrodeless lamp
за авторством: Frolova, T.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Conditions accompanying formation of long-living luminous objects from dissipating plasma of electric discharge in water
за авторством: Golubnichy, P.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Features of the microsecond pulsed discharge ignition in oxygen in a point-to-plane configuration
за авторством: Mankovskyi, S.M., та інші
Опубліковано: (2018)

Numerical simulation of influence of the non-equilibrium excitation of molecules on direct detonation initiation by spark discharge
за авторством: Korytchehko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of electrode erosion on formation of long-living luminous objects, formed by electrical discharge in water
за авторством: Golubnichy, P.I., та інші
Опубліковано: (2010)

Іgnition of the beam-plasma discharge in the initially neitral gas
за авторством: Dadyka, D.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Dynamics of the emission spectrum of the hydrogenoxygen plasma of pulsed discharge in water in the range of the Balmer series with a minimum of impurities
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Reforming of ethanol in hybrid plasma catalytic system
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Мeasurement of rotational temperature of molecular nitrogen in the anode area of negative corona in air under Тrichel pulse mode
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Numerical simulation of negative streamers in strong non-uniform electric fields in nitrogen. Effect of needle radius and applied voltage on streamer velocity
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Оzone decay in chemical reactor with the developed inner surface: air-ethylene mixture
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2018)

The properties of plasma-liquid system with one liquid electrode
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Stochastic heating of charged particles in absence of first order resonances
за авторством: Antonov, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)