Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие закономерности для твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий...
Збережено в:
| Дата: | 2016 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112609 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений / А. Д. Погребняк, А. А. Гончаров // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 9. — С. 1145-1166. — Бібліогр.: 52 назв. — рос. |