Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие закономерности для твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий...
Gespeichert in:
| Datum: | 2016 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Schriftenreihe: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112609 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений / А. Д. Погребняк, А. А. Гончаров // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 9. — С. 1145-1166. — Бібліогр.: 52 назв. — рос. |