Determination of sp³ fraction in ta-C coating using XPS and Raman spectroscopy
The paper presents results of studies on the structure of tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) with a thickness in the range from 20 to 280 nm, deposited using pulsed vacuum arc technique with an electromagnetic Venetian blind plasma filter. The results of the phase structure analysis, obta...
Saved in:
| Date: | 2016 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Series: | Вопросы атомной науки и техники |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115409 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Determination of sp³ fraction in ta-C coating using XPS and Raman spectroscopy / V. Zavaleyev, J. Walkowicz, M. Sawczak, M. Klein, D. Moszyński, R. Chodun, K. Zdunek // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 4. — С. 84-92. — Бібліогр.: 45 назв. — англ. |